產(chǎn)品用途
MX-4半導(dǎo)體檢測顯微鏡采用無限遠色差校正光學(xué)系統(tǒng)，具有大視野、成像質(zhì)量高、功能擴展性強(明場/斜照明/偏振光/DIC觀察)、大平臺等特點；同時配有長工作距半復(fù)消色差物鏡和可快速和慢速移動的大行程載物臺，尤其適合半導(dǎo)體掩模板、液晶基板或其它平面顯示器及各種工業(yè)器件的檢驗。
產(chǎn)品特點
? 安全、穩(wěn)重的機架結(jié)構(gòu)設(shè)計: 工業(yè)檢測級顯微鏡鏡體，低重心、高剛性、高穩(wěn)定性金屬機架，保證了系統(tǒng)的抗震能力與成像穩(wěn)定性。其前置低手位粗微調(diào)同軸調(diào)焦機構(gòu)，內(nèi)置100-240V寬電壓變壓器，可適應(yīng)不同地區(qū)的電網(wǎng)電壓。底座內(nèi)部設(shè)計有風(fēng)循環(huán)散熱系統(tǒng)，長時間使用也不會使機架過熱
? 反射照明器: 單顆大功率5W白色LED照明，帶斜照明機構(gòu)。切換至斜照明時，可以使物體表面不同材質(zhì)部分呈現(xiàn)立體圖案，增加觀察的對比度與視覺效果
? 高性能物鏡轉(zhuǎn)換器: MX4R轉(zhuǎn)換器采用精密軸承設(shè)計，轉(zhuǎn)動手感輕巧舒適，重復(fù)定位精度高，物鏡轉(zhuǎn)換后的同心度也得到較好的控制，根據(jù)需求可配置不同孔位的轉(zhuǎn)換器
產(chǎn)品規(guī)格
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規(guī)格參數(shù)
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MX-4
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光路系統(tǒng)
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無限遠色差校正光學(xué)系統(tǒng)
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●
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觀察頭
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鉸鏈三通觀察筒，30°傾斜，360°旋轉(zhuǎn)；瞳距范圍：50mm～75mm
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●
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正像,視度調(diào)節(jié)±5°；兩檔分光比R:T=100:0或50:50
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●
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目鏡
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高眼點大視野平場目鏡WF10X(Φ22mm)
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●
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無限遠長工作距平場消
色差金相物鏡
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倍率
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數(shù)值孔徑(N.A.)
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工作距離(W.D.)
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●
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5×-DIC
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0.15
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10.80mm
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10×-DIC
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0.3
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12.20mm
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20×-DIC
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0.45
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4.00mm
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無限遠長工作距平場半復(fù)消金相物鏡
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50×
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0.55
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7.90mm
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100×(選配)
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0.8
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2.10mm
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○
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放大倍數(shù)
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50×-500×
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●
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物鏡轉(zhuǎn)輪(DIC)
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內(nèi)定位5孔轉(zhuǎn)換器(帶DIC插槽)
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●
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載物臺
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6英寸三層機械移動平臺，低手位X、Y方向同軸調(diào)節(jié)
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●
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平臺面積445mmX240mm，反射照明移動范圍：158mmX158mm；透射照明移動范圍:100mmX100mm，帶離合器手柄，可用于全行程范圍內(nèi)的快速移動
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玻璃載物臺板。（透/反射用）
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調(diào)焦機構(gòu)
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粗、微動同軸低手位調(diào)焦機構(gòu)、帶鎖緊和限位裝置
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●
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微動格值0.001mm、粗調(diào)行程30mm
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DIC微分干涉
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DIC微分干涉觀察組件(選配)
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○
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簡易偏光裝置
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φ30起偏鏡插板（反射用）、360度旋轉(zhuǎn)式檢偏鏡插板（反射用）
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●
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反射照明系統(tǒng)
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柯拉照明系統(tǒng)，帶視場光闌與孔徑光闌，中心可調(diào)
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●
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帶斜射照明裝置
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100-240V寬電壓,單顆大功率5W LED，暖色
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透射照明系統(tǒng)
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內(nèi)置5W暖色LED透射光照明系統(tǒng)，上下光可獨立控制
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●
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數(shù)碼成像系統(tǒng)
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高質(zhì)量0.5X
CCD適配鏡
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●
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Puda 630萬USB型進口芯片數(shù)字顯微鏡攝像機(采用SONY
6.3M/IMX178(C)，1/1.8“ (7.37x4.92)，59@3072 x2048，59@1536x 1024高性能芯片組/
USB3.0高速通訊，高分辨率、精準的色彩還原處理/ Ultra-Fine顏色引擎，確保顏色精準再現(xiàn))
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Puda ImageView專業(yè)的圖像軟件
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可升級配件
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目鏡：10×(分劃)
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○
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注解：●為標(biāo)配、○為可升級配件
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特別聲明：
·以上內(nèi)容如有變動，恕不另行通知。
·普丹會盡全力為您提供準確、全面的信息，但不對信息中可能出現(xiàn)的錯誤或遺漏承擔(dān)責(zé)任。
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