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　　掃描電鏡是六十年代發(fā)展起來的一種精密電子學(xué)儀器.利用它可以觀察塊狀樣品的表面形態(tài)，從而得出有關(guān)樣品立體結(jié)構(gòu)的概念.掃描電鏡的工作原理可以借助于圖3-1來說明.它由三部分構(gòu)成:(一)電子光學(xué)系統(tǒng)，包括電子槍，磁透鏡和掃描線圈等。它能產(chǎn)生符合一定要求的電子束，(二)樣品室，這是電子束與樣品相互作用的場所。為便于獲取作用后生成的各種信號，樣品室的體積容量較大。(三)信號的收集、處理和顯示系統(tǒng)。
　　掃描電鏡中的細電子束在樣品表面作出光柵狀掃描，即從左上方掃向右上方，掃完一行再掃其下相鄰的第二行，直至掃完一幅(或幀)。如此反復(fù)運動.這種作掃描運動的電子束，在樣品內(nèi)的一定區(qū)域內(nèi)逐點“轟擊”出各種信號.這里所收集、利用的主要是從塊狀樣品表面“反射”回來的各種信號，包括作用后的部分初始電子(即背散射電子)和初始電子失能所引起的二次激發(fā)信號。對于電鏡分析有意義的二次激發(fā)為:
　　1.低能二次電子，
　　2.電子一空穴對(電子束感生信號)，
　　3.陰極熒光，
　　4.特征X射線，
　　5.俄歇(Auger)電子。
　　此外，少數(shù)實驗中也有利用樣品中的吸收電子和透射電子作分析的.當電子束在樣品上掃描時，利用同步掃描技術(shù)。